浅谈平面研磨抛光加工的工艺因素

　　为进步加工精度和减少研磨轮磨损,对平面研磨抛光加工过程中的加工参数进行分析。针对目前常用的两种不同结构砂轮,采用加工精度系数和砂轮磨损系数的概念描述加工精度与砂轮磨损,并提出相应的数学模型,以分析加工参数与工件精度及研磨轮磨损的关系。通过理论分析与实践表明：优化设计砂轮的结构、公道选择加工参数,可以实现进步研磨加工精度及降低砂轮磨损的目的。

　　平面研磨抛光加工技术已被广泛应用于超精密加工中,它可加工出粗拙度Ra为0.01-0.02μm的镜面。诸如量块、光学平面、集成电路的硅基片等硬脆零件,后都是用超精密研磨抛光机得到要求的高质量表面。其枢纽是如何进步效率、加工精度,降低本钱。

　　为改善冷却液工作状态,减小加工动压的影响,现在研磨轮多数采用了开槽式结构设计。但是,对于研磨轮表面结构和研磨加工精度、粗拙度之间关系的研究还没有一个定性的研究结论。

　　对于平面研磨抛光加工的主要工艺因素在一定的范围内，增加研磨压力可以提高研磨效率。此外，超精密研磨对研磨运动轨迹有以下基本要求，保征工件加工表面和研具表面上各点均有相同或相近的被切削条件和切削条件：

　　1.工件相对研磨盘作平面平行运动，使工件上各点具有相同或相近的研磨行程。

　　2.工件上任一点不出现运动轨迹的周期性重复。

　　3.避免曲率过大的运动转角，保证研磨运动平稳。

　　4.保证工件走遍整个研磨盘表面，以使研磨盘磨损均匀，进而保证工件表面的平面度。

　　5.及时变换工件的运动方向，以减小表面粗糙度值并保证表面均匀一致。